三次元表面性状測定装置　PF-60

より早く

より簡単に

より高精度に

インデックス測定の50倍速を可能にするスキャンAF機能と高精度自動XYステージにより、数十mmオーダーの広範囲をサブμmレベルの測定精度で高速に測定する事を実現しました。

断面曲線では検出できない精密加工部品の反り測定、成型品の形状不良、トライボロジーにおける摩耗量や傷の定量評価に最適です。

特徴

広範囲、高精度測定

半径R0.5μｍのレーザプローブと高精度XYステージにより、数十mmオーダーの範囲をサブμｍレベルの測定精度で、ダイレクトに測定します。

フレネルレンズ X= 4.498mm Y＝4.501mm Z=4.733μm

回折格子 X= 4.498mm Y＝4.501mm Z=4.733μm

高速三次元測定

高速スキャンAF機能により、広範囲 / 高速測定を実現しました。従来は1時間20分かかっていた測定時間が6分で可能に。

間隔用標準片 XY= 0.8mm x 0.8mm

断面測定測定時間僅か15秒/8000点

優れた角度追従性

高感度AFセンサが表面からの僅かな反射光を捕捉。急斜面や段差のダイレクト精密測定を可能にします。

小径ギヤ(モジュール0.3) X=2mm Y＝2mm Z=723μm

測定結果最大傾斜角度85度を可能に

測定画面でワークをモニタしながら測定

見て測る。簡単操作で高度測定が可能です。観察用の低倍レンズと測定用の高倍レンズの切り替えがスライドのワンタッチ操作で容易に可能です。

対物切り替え

測定画面

ISOが認めた測定方式

2008年に本測定法をISO規格の“面領域の表面性状の分類(ISO 25178-6)”に非接触測定法として提案し、“Point Autofocus Profiling”と命名され、2014年2月にISO 25178-605 : Point Autofocus Probeとして公布されました。

測定概要

PF-60はZ軸の高さ測定用のオートフォーカス(AF)顕微鏡とスキャニング用高度精度XYステージにより構成されます。AF顕微鏡により高さ方向の位置を測定し、XY、ステージ上のワークを移動させることでXYZの座標値を取り込み、形状測定を行います。

スキャニングXYステージ

高精度XYステージを駆使させて座標軸を読み込む方式であるため、可動範囲内(60mm x 60mm)で連続して測定が可能です。視野範囲などの測定精度がないため測定データをつなぎ合わせる必要がなく、広範囲の高精度測定が可能です。

ポイントフォーカス式

高さ測定用のAF顕微鏡に組み込まれたレーザ光は上図の赤いラインのような光路で対物レンズを通り、半径0.5μmのレーザプローブとして測定ワーク表面に結像します。ワーク表面のレーザプローブ反射光は再び対物レンズを通り、AFセンサ上に結像しますが、レーザプローブがフォーカス位置から移動するとAFセンサ上のスポットの位置も変化します。AFセンサはスポットの位置変位をリアルタイムで検出し、常にセンサ中心にスポットが来るようにAF軸機構部を動作させることでAF顕微鏡を位置決めします。

粗さ測定にて国際基準と高い相関性

ポイントオートフォーカス式は触針式の粗さ測定と高い相関性を持ち、信頼性の高いデータを取得できます。